UNIPOL-1502自動精密研磨拋光機在研磨過程中兩個加工工位可以一定的頻率左右擺動,同時推動載物塊左右擺動,載物塊在進行自轉(zhuǎn)的同時隨著研磨盤公轉(zhuǎn),使樣品做無規(guī)則運動,使研磨后的樣品表面質(zhì)量均勻。研磨拋光機配備的載物塊是具有高的平面度和平行度的精密圓柱狀金屬塊,使研磨后的樣品表面也具有高的平面度,并且不會使樣品邊緣倒角,對邊緣要求高的樣品尤其適合。UNIPOL-1502自動精密研磨拋光機若配置適當(dāng)?shù)母郊℅PC-100A精密磨拋控制儀),可批量生產(chǎn)高質(zhì)量的平面磨拋產(chǎn)品。搭配GPC-100A使用尤其適用于直徑≤110mm的晶圓樣品的研磨與拋光。
主要特點 | 1、超平拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。 2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.012mm)。 3、設(shè)有三個加工工位。 4、主軸旋轉(zhuǎn)采用無級調(diào)速控制方式,并設(shè)有數(shù)顯表實時顯示轉(zhuǎn)數(shù)。 5、配有定時器,可準(zhǔn)確控制工作時間(0-300h之間)。 6、可選配自動滴料器或循環(huán)泵,使磨拋更加方便快捷。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:110V/220V 2、功率:410W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:0-125rpm 4、工位:3個 5、支撐臂擺動次數(shù):0-9次/分 6、托盤端跳:0.01mm/332mm 7、磨拋盤:Ø381mm 8、載物盤:Ø110mm |