· 流量范圍:滿量程從40SCCM到10SLPM(N2@70℉&5PSIG)
· 響應(yīng)時間:3~4秒
· 精度和線性:±2%滿量程
· 重復(fù)性:±0.2%滿量程
· 量程比:50:1(2%-*滿量程)
· 工作溫度:-10 ~70℃(14-158℉)
· 溫度漂移:±0.1%/℃
· 壓力漂移:±0.1%/atm(相對于N2)
·設(shè)定點輸入/流量信號輸出:0-5Vdc(流量信號輸出的zui小負(fù)載電阻2KΩ)
·供應(yīng)電源:±12(±5%)或+15(±10%)VDC(電流消耗﹤250mAdc)
·安裝方向:對位置不敏感
·預(yù)熱時間:10分鐘
·電氣連接:D型(9針)
·過程連接:1/8″NPT內(nèi)螺紋
主體:鋁
閥帽:鋁
孔:黃銅
閥組件(接液) :不銹鋼
過程連接 :鍍鎳銅(入口)和鋁(出口)