高純水,超純水(high-purity water,ultra-high purity water)是化學純度*的水,其中的雜質(zhì)的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經(jīng)達到99.999999%,其中雜質(zhì)含量低于0.01mg/L。將水中的導電介質(zhì)幾乎全部去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機物均去除至很低程度的水。
目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
? ? 反滲透加EDI技術(shù),屬當今世界上好的脫鹽技術(shù),在電子、醫(yī)藥等行業(yè)水質(zhì)凈化、清洗、水質(zhì)純化以及廢水處理有著廣泛的應用。
電子工業(yè)超純水設(shè)備主要用途:
? ? 電子工業(yè)超純水設(shè)備主要用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水,半導體、顯象管制造業(yè)用超純水,集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水,蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產(chǎn)用純水,高純水,超純水的制備。
? ? 例如,在電子工業(yè)方面,可以作為線路板清洗用超純水的處理設(shè)備,與其它技術(shù)諸如電滲析、離子交換和蒸餾相比,具有能耗低、脫鹽率高、除菌能力強和操作簡單、維護方便的特點,大大節(jié)省了運行、維修成本。
一、應用范圍概述:
微電子行業(yè):電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn);
化學化工:超純化學試劑生產(chǎn)化工新材料生產(chǎn);
其它:貴金屬冶煉、磁性材料生產(chǎn)、電子級無塵布生產(chǎn)、光學材料生產(chǎn)等;
二、實驗室高純水設(shè)備典型工藝流程
1 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)
2預處理-一級反滲透-加藥機(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)
3 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥12MΩ.CM)(新工藝)
三、標準參考
顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)
集成電路用純水水質(zhì)
電子級純水標準
四、設(shè)備特點
? ? 實驗室高純水設(shè)備具有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和運行可靠性。
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