超純水純度*的水。集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

晶片切割用高純水設(shè)備

超純水：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。
超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm

超純水是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，一般不可直接飲用，對(duì)身體有害，會(huì)析出人體中很多離子。

晶片切割用高純水設(shè)備工藝流程超純水，目前的主要工藝流程

　　1.預(yù)處理----復(fù)床 ----混床---拋光樹(shù)脂
　　2.預(yù)處理----反滲透---混床---拋光樹(shù)脂
　　3.預(yù)處理----反滲透----EDI膜塊----拋光樹(shù)脂
中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室分析用水標(biāo)準(zhǔn)

中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室分析用水標(biāo)準(zhǔn)（GB6682-92）《分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和實(shí)驗(yàn)方法》：
　　指標(biāo)名稱 一級(jí)水 二級(jí)水 三級(jí)水
　　1級(jí)水>10MΩ；2級(jí)水>1MΩ；3級(jí)水>0.2MΩ
　　PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5
　　比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
　　電導(dǎo)率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
　　可氧化物[以O(shè)計(jì)]mg/L -- 0.08 0.40
　　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
　　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --
　　蒸發(fā)殘?jiān)╩g/L） -- 1.0 2.0

純水、高純水、超純水的區(qū)別：

純水

純水是指既將水中易去除的強(qiáng)電介質(zhì)去除，又將水中難以除去的硅   

超純水

酸及二氧化碳等弱電解質(zhì)去除至一定程度的水。純水的含鹽量在1.0mg/L以下,電導(dǎo)率小于50μs/cm。
高純水

高純水是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0. 3mg/L以下,電導(dǎo)率小于0. 2μs/cm。

超純水　
　
 純度*的水。集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水是指下列雜質(zhì)含量極低的水：①無(wú)機(jī)電離雜質(zhì),如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娛、NO婣、SiO婣、PO等；②有機(jī)物,如烷基苯磺酸、油、有機(jī)鐵、有機(jī)鋁以及其他碳?xì)浠衔锏?；③顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；④微生物,如細(xì)菌、浮游生物和藻類等;⑤溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來(lái)衡量。理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導(dǎo)電。在25℃時(shí)超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米)，一般約為15～18（兆歐·厘米）。
超純水中有機(jī)物含量由測(cè)定有機(jī)物碳含量而定，電子工業(yè)超純水中規(guī)定含量為50～200微克／升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質(zhì)每1毫升內(nèi)含量為1～2個(gè)，微生物每1毫升為0～10個(gè)?，F(xiàn)代采用預(yù)處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過(guò)濾技術(shù)等，使超純水的電阻率在25℃時(shí)達(dá)到18(兆歐·厘米)。

依各種原水水質(zhì)和用戶要求的不同，超純水的制備工藝大體可分為預(yù) 處理、脫鹽和精處理三步。

預(yù)處理 包括砂濾、多介質(zhì)過(guò)濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過(guò)濾、脫氣等。過(guò)濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^(guò)濾是除去有機(jī)物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。