電子工業(yè)中,生產(chǎn)單晶硅半導體材料、二極管、三極管、集成電路、光、硬盤、顯象管時,都需要達到電子級標準的工藝用水,在我國,電子級水共分五個級別,部分指標如下:
指標 級別 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | EW-Ⅴ |
電阻率 MΩ.cm( | 18 90%時間zui小17 | 15 90%時間zui小12 | 10 90%時間zui小8 | ≥2 | ≥0.5 |
大于1μm微粒數(shù),zui大值,個/ml | 1 | 5 | 10 | 100 | 500 |
大于0.5μm微粒數(shù),zui大值,個/m | 100 | 300 | 500 | 1000 | 2000 |
細菌個數(shù),zui大值,個/ ml | 1 | 5 | 10 | 50 | 100 |
總有機碳含量,zui大值 | 50 | 100 | 200 | 1000 | 5000 |
二氧化硅總含量,zui大值 | 2 | 20 | 50 | 100 | 1000 |
電子級水基本制水流程如下:
我司從事高純水、超純水設備的生產(chǎn)有多年歷史,可按用戶的需求提供達到電子級別用水的生產(chǎn)線。
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