我公司生產(chǎn)工藝*,檢測手段*,售后服務周到。購買晶圓平面研磨機認準深圳方達,產(chǎn)品銷售網(wǎng)絡遍布全國各地。本款研磨機采用變頻調速控制。軟啟動、。zui大限度的保證了研磨拋光的精度。數(shù)顯時控,自動停機,操作簡便。 <a href="http://www.szfangda.cn/">晶圓平面研磨機</a>
本設備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅動器組件,砂輪,砂輪主軸及驅動組件,絲桿導軌進給組件及其他輔助配件構成.。
吸盤。
吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制,直徑320-600mm。
吸盤主軸驅動方式為變頻調速,逆時針旋轉,吸盤主軸轉速3-140轉可調,吸盤轉速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅動模式相應改變。
砂輪
砂輪的大小是根據(jù)吸盤直徑大小來定的,一般有150-170-210mm的規(guī)格,砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對工藝的要求定制。
砂輪主軸及驅動組件
砂輪主軸采用精密的高速旋轉電主軸,驅動方式為變頻調速轉速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅動模式而相應改變轉速3000-8000轉可調。
絲桿進給組件
本機采用高精密絲桿及導軌組件,驅動方式是伺服驅動,可根據(jù)不同材質的工件及工藝要求由PLC控制的驅動模式而相應的改變絲桿的轉速,也就是砂輪的進刀速度,速度0.001-5mm/min可調,控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。
本機采用*的中國臺灣品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現(xiàn)人機對話,操作簡單一目了然。
功能參數(shù):
項目 | 參數(shù)一 | 參數(shù)二 |
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主電源 | 三相380V | 50HZ |
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主電機功率 | 2.2KW | 三相 |
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主電機轉速 | 0-90 RPM |
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伺服電機功率 | 750W |
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砂輪尺寸 | φ180 |
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工作工位 | 5工位 |
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吸盤尺寸 | φ100(φ126) |
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外形尺寸 | 1150*1200*1750mm |
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設備總重量 | 700kg |
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