Dektak 8 探針輪廓儀儀器簡(jiǎn)介:
結(jié)構(gòu)緊湊,可提供很高的重復(fù)性和精度。*的X–Y方向定位系統(tǒng)可移動(dòng)到8 x 8 inch區(qū)域的任何位置。它不僅能測(cè)量臺(tái)階高度和表面紋理,還能測(cè)量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點(diǎn)高度、纖維光學(xué)元件和顯微透鏡。全程程序控制的Dektak 8系統(tǒng)對(duì)于MEMS,納米技術(shù)和半導(dǎo)體應(yīng)用都非常方便。
Dektak 8 探針輪廓儀 技術(shù)參數(shù):
臺(tái)階高度重復(fù)性: 7.5Å,1σ在1um標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階上
大晶圓尺寸:200mm
大樣品厚度:25.4mm (1 in.)
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn):多可達(dá)60,000數(shù)據(jù)點(diǎn)
掃描長(zhǎng)度范圍:標(biāo)配大50mm
垂直范圍:標(biāo)配262um;可選1mm
大垂直分辨率:1Å (6.55微米垂直范圍下)
主要特點(diǎn):
1. 臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性高
2. 是功能為強(qiáng)大的探針輪廓儀,可大限度的滿足各種應(yīng)用需要
3. 簡(jiǎn)單易用
4. 作為一款桌面型輪廓儀,掃描范圍可達(dá)200mm
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