太陽(yáng)能電池3D表面共聚焦檢測(cè)系統(tǒng)一種解決所有太陽(yáng)表面檢查的方法
µsurf solar太陽(yáng)能是一種用于在實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)太陽(yáng)能應(yīng)用范圍廣泛的高精度光學(xué)測(cè)量解決方案。理想的靈活性允許所有測(cè)量任務(wù)執(zhí)行納米精度的共焦技術(shù)。這種廣泛的進(jìn)化提供了大的穩(wěn)定性數(shù)據(jù)-大的動(dòng)態(tài)和直觀的處理。作為一個(gè)企業(yè)的解決方案,該µsurf solar太陽(yáng)是適應(yīng)從硬軟件的太陽(yáng)能行業(yè)的要求。例如,定位表可用于測(cè)量整個(gè)太陽(yáng)能組件所需的米范圍。一個(gè)210x210mm承載面積真空吸盤(pán),保證電池的安全裝置在移動(dòng)階段而不破壞它。
太陽(yáng)能電池3D表面共聚焦檢測(cè)系統(tǒng)具有智能算法的特定行業(yè)軟件
分析的具體算法和模塊,不同曝光時(shí)間和不同太陽(yáng)表面的測(cè)量模式,使微米波太陽(yáng)能成為一種多用途的解決方案。納米焦點(diǎn)已開(kāi)發(fā)了專(zhuān)門(mén)的軟件是適合于太陽(yáng)能電池的反射特性。通過(guò)對(duì)金字塔進(jìn)行量化或檢測(cè)缺陷的工具,用戶(hù)可以從對(duì)挑戰(zhàn)性表面的解釋中獲得更容易的解釋。面積測(cè)量結(jié)合新的算法提供穩(wěn)定和可重復(fù)的三維數(shù)據(jù)。通過(guò)高度和反射數(shù)據(jù)的結(jié)合,可以精確地確定邊緣,使手指能夠以納米精度測(cè)量高度和寬度。為了更有效地測(cè)量過(guò)程中,測(cè)量系統(tǒng)可以配備一個(gè)簡(jiǎn)單和工業(yè)自動(dòng)化。
集成的DIC顯微鏡
利用集成的DIC技術(shù)(微分干涉相襯顯微鏡),可以獲得微米級(jí)的µsurf solar。DIC使得有可能,例如,角度依賴(lài)的金字塔表示或快速檢測(cè)晶圓上的污垢和缺陷。與硬件版本不同的是,開(kāi)發(fā)出的軟件DIC提供了許多優(yōu)點(diǎn)。它更容易使用,可以同時(shí)顯示不同的角度方向,獨(dú)立于高度范圍。結(jié)合 的共聚焦技術(shù),DIC顯微鏡顯示這一技術(shù)的優(yōu)點(diǎn):測(cè)量圖像聚焦無(wú)限深度。此外,該光學(xué)元件可用于更高的光圈,并可模擬任意光源。利用共焦技術(shù),理想測(cè)量結(jié)果與樣品的顏色和反射率無(wú)關(guān)。