MMA 全自動工具測量顯微鏡采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒，五段變倍鼻輪（可選自動變倍鼻輪）。提供超高清晰度測量畫面，配以0.0001mm分辨率金屬光柵實現(xiàn)更高的測量精度，同時Z軸采用新進的圖像處理方式實現(xiàn)Z軸精準(zhǔn)對焦測高，10X及以上物鏡對焦重復(fù)性≤0.002mm，100X物鏡對焦重復(fù)性≤0.001mm。
適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、晶片級CSP等領(lǐng)域

MMA 全自動工具測量顯微鏡產(chǎn)品信息

MMA 全自動工具測量顯微鏡采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒，五段變倍鼻輪（可選自動變倍鼻輪）。提供超高清晰度測量畫面，配以0.0001mm分辨率金屬光柵實現(xiàn)更高的測量精度，同時Z軸采用新進的圖像處理方式實現(xiàn)Z軸精準(zhǔn)對焦測高，10X及以上物鏡對焦重復(fù)性≤0.002mm，100X物鏡對焦重復(fù)性≤0.001mm。

適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板（LCM）、晶片級CSP等領(lǐng)域。

MMA 全自動工具測量顯微鏡

升級擴展選項：
A、DIC微分干涉模塊；
B、熒光模塊。

機型參數(shù)：

儀器型號/儀器參數(shù)		MMA300CNC	MMA400CNC	MMA500CNC
儀器重量/kg		230	400	540
外型尺寸LWH		770660970	980790990	12808551050
測量范圍(mm)	X	300	400	500
	Y	200	300	400
	Z	150	150	150
工作臺(mm)	大理石臺面	487×367	606×476	786×610
	玻璃臺面	345×245	445×345	545*445
	承重	20kg	30kg	30kg
影像及測量系統(tǒng)	CCD	德國映美精1/3"彩色CCD，130萬像素
	光學(xué)頭	日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪（可選自動變倍鼻輪）
	目鏡	CFI 10X
	物鏡	5X、10X、20X、50X、100X（倍率可選）
	光柵尺分辨率	0.0001mm
測量精度(um)		X、Y線性精度：1.6+L/200 X-Y矢量精度：2+L/200 Z軸對焦精度≤0.002mm（10X及以上物鏡）
照明光源		LED同軸落射光源+LED平行透射光源
工作電源		220v±10%（AC） 50Hz （注：需有電阻≤4Ω接地線）
工作環(huán)境		溫度：18~24℃、相對濕度：30~75%、遠離振源