臺(tái)式掃描電鏡
1.分辨率:15nm (30kV, SE Image)
20nm (30kV, BSE Image)
2.放大倍率:20x~60,000x (有效放大倍率30,000x)
3.加速電壓 :1kV to 30kV (1/5/10/15/20/30Kv-6 step)
臺(tái)式掃描電鏡
4.觀察圖像:
二次電子圖像
背散射電子圖像(COMPO,TOPO)
二次電子和背散射電子雙重像
二次電子和背散射電子合成像
5.觀察模式: 標(biāo)準(zhǔn)觀察模式及BSE+低真空觀察模式
6.電子槍系統(tǒng):
燈絲類(lèi)型:預(yù)對(duì)中鎢燈絲,帶韋氏帽
偏壓系統(tǒng):自動(dòng)偏壓方式
電子槍手動(dòng)校正
7.透鏡構(gòu)成
聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡
物鏡 : 1段式磁線圈透鏡
8.探測(cè)器類(lèi)型
E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)
9.載物臺(tái)系統(tǒng):3軸操控
載物臺(tái)移動(dòng)范圍:X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°
10.圖像光斑調(diào)整大進(jìn)程: X, Y Image Shift 150?(±75)
11.樣品大尺寸 :
70mm*70mm* 30mm
12.圖像掃描速度
快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
圖片模式3(Photo Mode 3): 5120x1920 (Scan time: 120sec.)
13.自動(dòng)功能
自動(dòng)啟動(dòng),自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)
14.圖像存儲(chǔ)方式
BMP, JPEG, PNG
15.數(shù)據(jù)顯示
放大倍率,探測(cè)器類(lèi)型,電壓,真空模式,文本,標(biāo)尺等