ScanWave Probe掃描微波阻抗顯微鏡是可以應(yīng)用于各種AFM平臺的獨立掃描模塊,包括微波信號發(fā)生器、探針干涉模塊,自主同軸屏蔽探針,以及微波近場軟件。探針采用了特殊MEMS結(jié)構(gòu)可以有效的避免雜散場的干擾。
ScanWave Probe微波近場探針
同軸屏蔽懸臂和堅固的金屬針尖,兩側(cè)鍍金屬,中間有一條導(dǎo)線。
針尖為50nm,可以有效的保持電信號形貌成像的精確和靈敏。因為是近場信號反饋,取決于針尖與樣品之間形成的近場電磁場的面積區(qū)域。如果針尖太細(xì),就無法產(chǎn)生足夠的反饋信號。當(dāng)然特征區(qū)域面積的大小是由樣品本身性質(zhì)決定的。比如摻雜 和金屬樣品我們可以將特征區(qū)域縮小至20nm以下。