適用于大尺寸樣品的 Axio Imager Vario檢測大尺寸樣品 – 擁有自動(dòng)聚焦系統(tǒng)且滿足超凈室等級(jí)要求
分析從小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。利用驅(qū)動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至更佳聚焦位置。
適用于大尺寸樣品的 Axio Imager Vario特點(diǎn):
● 兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱(配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕)可 供選擇,充分利用顯微鏡 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和254mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。
● Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。
● 借助自動(dòng)聚焦硬件,您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
● Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
● Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。