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應(yīng)用領(lǐng)域： CVD系列真空氣氛管式電阻爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理.
產(chǎn)品特點(diǎn)： CVD系列真空氣氛管式電阻爐專門設(shè)計(jì)用于高溫材料沉積之用。 硅鉬棒加熱、剛玉爐管爐膛, 可預(yù)抽真空,便于通入?yún)⒓臃磻?yīng)的氣體, CVD系列進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu)。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備。
技術(shù)指標(biāo)：
設(shè)備型號(hào) | CVD（D）-06/60/3 | CVD（Z）-06/30/1 | CVD（G）-07/50/2 | CVD（G）-09/50/1 | |
zui高溫度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ | |
使用溫度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ | |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | |
溫區(qū)個(gè)數(shù) | 3個(gè) | 1個(gè) | 2個(gè) | 1個(gè) | |
加熱區(qū)長度 | 600mm | 300mm | 500mm（300mm/200mm） | 500mm | |
爐管尺寸 | ф60（外徑）×1400（mm） | ф60（外徑）×1000（mm） | ф70（外徑）×1450（mm） | ф90（外徑）×1450（mm） | |
爐管材料 | 石英管 | 剛玉管 | 剛玉管 | 剛玉管 | |
發(fā)熱元件 | 進(jìn)口電阻絲 | 電阻絲/硅碳棒 | 硅鉬棒、電阻絲 | 硅鉬棒 | |
zui大裝機(jī)功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw | |
CVD-□□□ 選件功能 | /□ | /□ | |||
V | 真空系列：單級(jí)機(jī)械泵+擴(kuò)散泵機(jī)組 | ||||
Q | 氣氛系統(tǒng)：浮子流量計(jì)；進(jìn)口/國產(chǎn)質(zhì)量流量計(jì) | ||||
具體工藝參數(shù)請(qǐng)登陸合肥日新高溫技術(shù)有限公司企業(yè)門戶：www.risine。。ｃｏｍ
具體工藝要求請(qǐng)來電垂詢： 5583720
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