華鈺公司生產(chǎn)的擴(kuò)散爐體主要用做半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置。可與美國TEMPRESS,美國TYAN,美國THERMCO,荷蘭ASM,英國BTU等國外多種型號(hào)擴(kuò)散爐配套(替代進(jìn)口),采用*進(jìn)的加工工藝,選用進(jìn)口材料,可處理2~8英寸硅片的擴(kuò)散工作。
產(chǎn)品性能及特點(diǎn) Performance and Features
具有使用壽命長、溫區(qū)穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)合理、性能可靠等特點(diǎn),并可以根據(jù)用戶要求定做。