德國(guó)20場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡全部采用新一代鏡筒(GEMINI)設(shè)計(jì),具有優(yōu)良的高、低加速電壓性能。創(chuàng)新的InLens設(shè)計(jì)是目前世界上真正的內(nèi)置鏡筒電子束光路上二次電子探測(cè)器,具有靈敏度和高的接收效率,而且只接收來(lái)自樣品表面的二次電子,因此具有業(yè)界高等級(jí)的分辨率和圖像質(zhì)量。二次電子探測(cè)器和背散射電子探測(cè)器均內(nèi)置于鏡筒電子束光路上,試樣的工作距離不受背散射探測(cè)器的影響,可以非常接近極靴,這樣可以同時(shí)獲得高的二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率,且接收的背散射電子的能量可以控制。ZEISS的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡創(chuàng)造性的采用電磁、靜電復(fù)合式物鏡,雜散磁場(chǎng)小,可對(duì)鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率
產(chǎn)品應(yīng)用:
掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測(cè)量。
德國(guó)20場(chǎng)發(fā)射電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
分 辨 率: 0.8nm@ 15KV
1.6nm @ 1KV
2.0nm @ 30KV(VP mode)
放大倍數(shù): 12 - 1,000,000x
加速電壓: 0.02 - 30 KV
探針電流: 4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA 可選)
樣 品 室: 330 mm (φ) x 270 mm (h)
樣 品 臺(tái): 5軸優(yōu)中心全自動(dòng)
X = 130mm
Y = 130 mm
Z = 50mm
T = -3 to 70°
R = 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
系統(tǒng)控制: 基于Windows XP 的SmartSEM操作系統(tǒng),可選鼠標(biāo)、鍵盤、控制面板控制