Monarc 陰極熒光系統(tǒng)性能優(yōu)點

快速獲取高質(zhì)量數(shù)據(jù)

• 以優(yōu)異的空間分辨率（<10 nm="" 1="" br="">（0.1 nm）采集 CL 數(shù)據(jù)

• 采集同時具有角度和波長分辨能力的 CL 數(shù)據(jù)

• 相較前代技術(shù)，以高達30倍的更快速度采集超光譜
（hyperspectral）數(shù)據(jù)

操作簡便

• 通過全自動的光路對準和基于配方驅(qū)動的操作，得到優(yōu)化的結(jié)果

• 恒常對準的光路為短期與*工作帶來可重復的結(jié)果

• 大視野提高數(shù)據(jù)采集通量，并簡化用戶的工作流程

與其它信號的精確關(guān)聯(lián)

• 同時偵測多種信號，對物理性質(zhì)或成分信息與CL數(shù)據(jù)進行關(guān)聯(lián)成像

• 不需折衷妥協(xié)——在進行CL測量的同時，充分利用 SEM 的 in-lens探頭

1. 該幅偏振過濾的 CL 圖像證明了 Monarc 能夠提供空間分辨率優(yōu)于10 nm 的 CL 數(shù)據(jù)。圖像來自尺寸在 100 nm 左右的星狀金納米顆粒兩組正交線性偏振發(fā)光的顏色疊加。

Monarc 陰極熒光系統(tǒng)特色功能

• 角度分辨（angle-resolved CL，ARCL）：在遠低于光學衍射極限的尺度上理解光與物質(zhì)的交互作用——相較前代技術(shù)，400x 更大視野，且不產(chǎn)生實際分辨率損失

• 波長-角度分辨（wavelength- and angle-resolved CL, WARCL）：跨越多重觀察角度與波長，對光與物質(zhì)的交互作用進行可視化——歸功于*的光路設(shè)計，以前無法做到或非常難以實現(xiàn)的表征手段，在 Monarc 上成為常規(guī)工作

• 偏振過濾：獲知例如光波段擔任納米天線、光子晶體等深度次波長結(jié)構(gòu)的發(fā)光偏振性能

應用領(lǐng)域
• 光電材料研發(fā)

• LED 和激光失效分析

• 顯示與照明

• 光-物質(zhì)交互作用基礎(chǔ)研究

• 納米光子學

• 光子晶體

• 地質(zhì)科學-痕量元素分布

• 光伏材料表征

• 熒光技術(shù)

Monarc 配備兩種不同型號，滿足不同應用需求：

Monarc
適合于地質(zhì)科學與面分布成像應用，Monarc 型號擁有不受譜分辨率影響的更大視野，并通過其新穎的波長過濾譜成像能力，提供更高空間采樣的超光譜數(shù)據(jù)采集，性能大大超越基于前代技術(shù)的 SEM CL 探測器。

Monarc Pro
對于納米光子學與光電子材料應用，Monarc Pro 更為適用，由于其提供了更高的靈敏度與譜分辨率；并具備*的波長-角度分辨分析能力以及偏振過濾選項。