美國(guó)API公司XD系列激光干涉儀

技術(shù)綜述：

　　1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

　　3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)

　　5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

美國(guó)API公司XD系列激光干涉儀

技術(shù)參數(shù)：

　　5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：

　　1. 線性：0.5ppm .

　　2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)

　　3. 線性分辨力：0.001um.

　　4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

　　5. 大范圍：800角秒

　　6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

　　7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

　　8. 直線度大范圍：500um

　　9. 垂直度精度：1角秒

　　10. 溫度精度：0.2攝氏度

　　11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

主要特點(diǎn)：

　　1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

　　2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

　　3. 可選的無(wú)線遙控傳感器長(zhǎng)的控制距離可到25米

　　4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。

　　5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間