InfiniteFocus G5 自動變焦三維表面測量儀是奧地利Alicona公司研發(fā)生產的集微型三座標測量和表面形貌測量於一體的光學測量系統(tǒng)。

InfiniteFocus G5 自動變焦三維表面測量儀

特點：

• 一款*的3D光學測量儀
• InfiniteFocus G5整合了微型三座標測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能
• 萬能和高效
• LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的範圍幾乎不受限制
• 高分辨，高可重複性和可溯源
• 即使對於復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
• 高測量速度
• InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒
• 模塊化和可擴展性
• 新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合全自動
• 測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等

主要技術參數(shù)：
位移範圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結構：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決於表面結構
大樣品高度：100mm ～ 345mm
大樣品重量：30kg
水平分辨率：0.44μm
垂直分辨率：10nm
大掃描高度：22.5mm
大擴展視野範圍：10000mm2
大單一方向掃描範圍：100mm
測量速度:170萬個測量點/秒