SSY-10000桌面裝載機系統(tǒng)搬運小尺寸晶圓的小型系統(tǒng),可用于晶圓表面檢測,相對現(xiàn)有的手動設(shè)備,晶圓自動裝卸載系統(tǒng)能夠規(guī)避人工搬運晶圓的各種風(fēng)險,維持產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定,以及提高設(shè)備的生產(chǎn)效率;
SSY-10000桌面裝載機系統(tǒng)
- 能夠配套有的手動設(shè)備使用,小型化的外形尺寸設(shè)計以及較低的設(shè)備傳片高度非常適合于在桌面上的使用
- 配備的Mapping傳感器能夠獲得片盒內(nèi)的晶圓信息,并通過超薄設(shè)計的手指取放片盒內(nèi)任意位置的晶圓
- 透明的保護蓋以及Door Lock裝置的使用,可以有效地保證使用者的安全
應(yīng)用設(shè)備實例
半導(dǎo)體生產(chǎn)線,實驗室
規(guī)格
對應(yīng)片盒 | 3寸晶圓Cassette |
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對應(yīng)晶圓 | SEMI規(guī)格 3寸硅片 |
潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2(驅(qū)動裝置內(nèi)部獨立排氣的條件下) |
外形尺寸 | W380xD500xH420 |
重量 | 35Kg |
廠務(wù) | 電源:100V 1KVA |
真空:優(yōu)于-70kPa *30 L/min以上的排氣能力 |