離子減薄儀制備儀器儀表現(xiàn)貨庫(kù)號(hào)M403620
1. 工作條件1.1 電力供應(yīng):220V(10%),50Hz,1φ; 380V(10%),50Hz,3φ1.2 工作溫度:15℃-25℃1.3 工作濕度:< 60%2. 要求*2.1 離子:潘寧式離子,裝載永磁鐵,聚焦離子束設(shè)計(jì),無(wú)耗件。*2.2減薄角度:+10°到-10°,每只離子可獨(dú)立調(diào)節(jié)。2.3 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn):樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速1~6 rpm可調(diào)。2.4 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:載臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)X和Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍:+/- 0.5mm。*2.5離子束能量:0.1keV~8keV??稍诓煌妷合伦詣?dòng)優(yōu)化離子束束流。電流密度可達(dá)10mA/cm2.2.6 離子束調(diào)制:可以進(jìn)行角度選擇性區(qū)域離子減薄減薄2.7樣品更換:快速樣品更換時(shí)間<1min,無(wú)需破減薄室真空*2.8樣品臺(tái):DouPost樣品臺(tái)以及裝樣器,方便快速更換樣品以及實(shí)現(xiàn)雙面減薄。2.9 真空系統(tǒng):無(wú)油機(jī)械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。2.10 所需氣體:氬氣,操作壓力25psi,無(wú)需水冷*2.11 控制部分:10英寸觸摸屏控制,菜單化操作,并支持減薄程序的設(shè)定和儲(chǔ)存。備注:其中,帶*的指標(biāo)為重要的滿(mǎn)足的指標(biāo)
離子減薄儀制備儀器儀表現(xiàn)貨庫(kù)號(hào)M403620