MT-50A/M系列氣體質(zhì)量流量控制器
概要
MT-50A系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的 原理,可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制。
可應(yīng)用在 50SLM到 300SLM的氣體流量范圍, 并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整,可選擇數(shù)字式,模擬式,普通, 高精度,高壓力型,性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力,應(yīng) 用領(lǐng)域廣泛.
特點(diǎn)
o 模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器:
- 低單價(jià)
- 環(huán)境溫度補(bǔ)正
- 可應(yīng)用的流率范圍廣: - 50,100,150,200,300SLM
o 高精度 ±2%
o 可選用MT系列控制模塊,具有數(shù)位顯示、電源 供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
o 兼容
應(yīng)用
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。 o 氣體分析設(shè)備。 o 固定氣體流量控制。 o 氣體混合或分離設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 輸入輸出 輸入設(shè)定電壓…………1~+5.00V或 4-20MA
輸出電壓檢測(cè)…………1~+5.00V或 4-20MA