德國PI P-620.2–P-629.2PI XY向壓電工作臺
P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺
P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺
§ 行程為50至1800微米
§ 分辨率達0.1納米
§ 定位精度 0.02 %
§ 帶電容式傳感器的直接計量
§ X、XY、Z和XYZ型
應(yīng)用領(lǐng)域
§ 干涉測量
§ 顯微鏡
§ 納米定位
§ 生物技術(shù)
§ 測試程序和質(zhì)量保證
§ 光子
§ 光纖定位
§ 半導(dǎo)體技術(shù)
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。
帶電容式傳感器,實現(xiàn)亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、*穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。 它們*真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
直接位置測量帶來大精度
運動直接在運動平臺上測量,*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)*的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。
訂購信息
帶Sub-D連接器(公頭)的版本
P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),50微米 × 50微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器
P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器
P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),250微米 × 250微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器
P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),500微米 × 500微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器
P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),800微米 × 800微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器
P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),1500微米 × 1500微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器
帶LEMO連接器的版本
P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),50微米 × 50微米,直接位置測量,電容傳感器,LEMO連接器
P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,直接位置測量,電容傳感器,LEMO連接器
P-622.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),250微米 × 250微米,直接位置測量,電容傳感器,LEMO連接器
P-625.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),500微米 × 500微米,直接位置測量,電容傳感器,LEMO連接器
P-628.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),800微米 × 800微米,直接位置測量,電容傳感器,LEMO連接器
P-629.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),1500微米 × 1500微米,直接位置測量,電容傳感器,LEMO連接器
不帶位置傳感器的線性定位器
P-620.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),60微米 × 60微米,不帶傳感器,LEMO連接器 P-621.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),120微米 × 120微米,不帶傳感器,LEMO連接器
P-622.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),300微米 × 300微米,不帶傳感器,LEMO連接器
P-625.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),600微米 × 600微米,不帶傳感器,LEMO連接器
P-628.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),1000微米 × 1000微米,不帶傳感器,LEMO連接器 17.05.2018
P-629.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),1800微米 × 1800微米,不帶傳感器,LEMO連接器 線性定位器,真空兼容達10-9百帕
P-620.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),50微米 × 50微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕
P-621.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕
P-622.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),250微米 × 250微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕
P-625.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),500微米 × 500微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕
P-628.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),800微米 × 800微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕
P-629.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng),1500微米 × 1500微米,直接位置測量,電容傳感器,Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕
德國PI P-620.2–P-629.2PI XY向壓電工作臺