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四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處
品牌
型號XT100（M）
所在地北京市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2017/7/18 10:51:13
訪問次數(shù)1892

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四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀 RGA

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公司介紹主營產(chǎn)品

利方達(dá)(香港)有限公司于2002年創(chuàng)建。公司目前集中了一批多年從事真空鍍膜專業(yè)的技術(shù)人員和經(jīng)驗豐富的市場銷售人員,現(xiàn)已經(jīng)發(fā)展成為由利方達(dá)(香港)有限公司,深圳市利方達(dá)科技有限公司,利方達(dá)科技北京辦事處組成的，集真空產(chǎn)品研發(fā),生產(chǎn)及貿(mào)易以及維修服務(wù)為一體的企業(yè)集團(tuán) 。我們的業(yè)務(wù)專長于真空及鍍膜設(shè)備領(lǐng)域的代理銷售業(yè)務(wù)，致力于把世界上*的技術(shù)和設(shè)備引進(jìn)中國.憑借多年的真空專業(yè)技術(shù)積累, 雄厚的技術(shù)力量和真誠的服務(wù), 我們得到了業(yè)界的眾口稱贊,擁有了大量的客戶群體, 產(chǎn)品廣泛用于真空,光學(xué)、電子、半導(dǎo)體、平板顯示等相關(guān)領(lǐng)域.

展開顯示更多內(nèi)容

射頻電源,中頻電源,直流電源、質(zhì)量流量控制器,石英晶體膜厚控制儀,殘余氣體分析儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

使用真空分析偵控儀器--RGA(殘余氣體分析儀器)- 四極桿質(zhì)譜儀，逐漸形成一股趨勢，在制程技術(shù)層次不斷提高，復(fù)雜度不斷增加，單片成本提高的多種因素考量下，要維持低成本，高良率及高機臺使用效益，才能更增加本身的競爭優(yōu)勢。而殘余氣體分析儀，則是一種非常有用的工具之一。

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA 產(chǎn)品信息

使用真空分析偵控儀器--RGA（殘余氣體分析儀器）- 四極桿質(zhì)譜儀，逐漸形成一股趨勢，在制程技術(shù)層次不斷提高，復(fù)雜度不斷增加，單片成本提高的多種因素考量下，要維持低成本，高良率及高機臺使用效益，才能更增加本身的競爭優(yōu)勢。而殘余氣體分析儀，則是一種非常有用的工具之一。

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點及應(yīng)用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強

•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•提高流片量

•減少停機時間

•改進(jìn)工藝

•縮小工藝周期

•降低成本

規(guī)格：

測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M）	1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu
檢測類型	法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）	5×10^-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率	1 amu ，10%峰高
zui小可檢分壓強	10^-11torr或10^-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高
工作范圍	10^-4torr到超高真空
工作環(huán)境zui高溫度	40°C
烘烤溫度	300°C（不包括CCU）
通訊端口	RS-232C，115,200 Baud
軟件運行環(huán)境	Windows® 2000或XP