SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測(cè)量沉積速率和膜厚的精密儀器，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入，同時(shí)，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。

在大型系統(tǒng)中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數(shù)據(jù)通過平均值，以達(dá)到更精確的沉積控制；也可以設(shè)定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長(zhǎng)傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個(gè)檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等。

數(shù)字輸入可以通過外部信號(hào)來對(duì)讀數(shù)進(jìn)行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測(cè)儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝。軟件可以用來設(shè)置和存儲(chǔ)所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel®文檔。同時(shí)，USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)也添加通信協(xié)議中，以zui大程度方便不同用戶。

SQM160產(chǎn)品詳細(xì)介紹

便于使用

    開啟速率和膜厚測(cè)量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù)，然后關(guān)閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監(jiān)測(cè)儀一定距離也仍然清晰可見。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了，檔板就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，同時(shí)前面板報(bào)警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時(shí)間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對(duì)監(jiān)測(cè)儀的99個(gè)存儲(chǔ)膜系進(jìn)行設(shè)置。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單，然后，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了。主顯示界面顯示菜單提示，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。

高精度，低成本

  標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了的性價(jià)比。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■ 雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型），四通道可選

■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出

■ 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s

■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選

產(chǎn)品規(guī)格

QCM傳感器輸入                  標(biāo)準(zhǔn)型: 2;路  可選: 4路           

頻率范圍                            1-10 MHz                           

頻率分辨率                          標(biāo)準(zhǔn)型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec

                                        可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 

頻率穩(wěn)定性                        在 0º to 50ºC，總計(jì)± 2 ppm         

可選擇的測(cè)量周期                0.10 to 2 sec （每級(jí)增量0.05 sec）   

測(cè)量選擇                            1 to 20 readings                   

存儲(chǔ)膜系                            99                                 

模擬輸出                            2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 

數(shù)字輸入/輸出                    2 路數(shù)字輸入, 4路繼電輸出             

數(shù)字接口                            標(biāo)準(zhǔn)型: RS-232                     

                                        可選: USB or 以太網(wǎng)               

電源                                  0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 

CE 標(biāo)識(shí)                              Class 1 equipment                 

                                          73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD   

安裝支架                            1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,   

                                          89 x 213 x 197mm （3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4"）

重量                                  2.7 Kg （6 lbs）                   

Windows軟件（included）      提供遠(yuǎn)程安裝和操作指導(dǎo)，數(shù)據(jù)錄入功能

訂貨信息

附件

782-900-008                單臺(tái)SQM-160 19"安裝支架

782-900-014                雙臺(tái)SQM-160 19"安裝支架

782-502-062                4傳感器輸入擴(kuò)展卡     

                                （將標(biāo)準(zhǔn)型2路擴(kuò)展到6路）

782-900-042                高分辨率選件

                                （此項(xiàng)需在工廠中完成安裝）

782-900-040                USB選擇卡           

782-900-041                以太網(wǎng)選擇卡