ZATA光學(xué)輪廓儀Zeta-20表面輪廓測試系統(tǒng)-衡鵬供應(yīng)
Zeta-20表面輪廓測試系統(tǒng)概述
型號:Zeta-20
產(chǎn)品:光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測試系統(tǒng)
品牌:Zeta澤塔
簡介:3D成像及測試系統(tǒng) (為用戶量身打造的表面輪廓測量設(shè)備,是表面量測領(lǐng)域的選擇 )
Zeta-20表面輪廓測試系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格
Zeta-20性能配置
數(shù)據(jù)獲取: 小于10秒(200步掃描)
3D掃描: 每秒大于30步
像素分辨率: 0.031μm (1X耦合鏡、150X物鏡)
Z軸分辨率: 0.002 μm (壓電陶瓷載臺)
重復(fù)性(1σ): 0.006 μm (壓電陶瓷載臺和防震桌)
Zeta-20標(biāo)準(zhǔn)功能
相機(jī)選項(xiàng): 640x480, 1024x768,
1280x960像素
放大倍率: 45000X (光學(xué)加數(shù)字)
照明: 雙重高亮度白光LED
手動載臺: 100mm x 100mm XY移動距離
Z軸移動距離:40mm