線紋尺檢定裝置
線紋尺檢定裝置是一種采用光電顯微鏡作為瞄準(zhǔn)標(biāo)尺,作為測量標(biāo)尺對線紋尺進(jìn)行測量校準(zhǔn)的儀器,其具有精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)。該比長儀能夠檢測玻璃線紋尺和金屬線紋尺,且其能夠直接溯源到激光波長。,
該儀器配有自動化數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),具有實(shí)時對氣壓、濕度補(bǔ)償?shù)墓δ?,并且采用目前流行的USB總線作為數(shù)據(jù)傳輸總線。
技術(shù)指標(biāo):
測量范圍:(0~1000)mm
光電顯微鏡瞄準(zhǔn)重復(fù)性:優(yōu)于0.06μm
線紋尺正、反測量的*性:在測量范圍內(nèi)正、反方向測量值之差小于0.2μm
測量不確定度:U99=(0.06+0.1L)μm,L單位為m