韓國氣體質(zhì)量流量控制器M3050V
氣體質(zhì)量流量控制器M3050V,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,無需溫度壓力補償。氣體質(zhì)量流量控制器M3050V是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置,能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。
韓國氣體質(zhì)量流量控制器M3050V產(chǎn)品亮點: |
-類 型:MFC氣體質(zhì)量流量控制器 -控制范圍:25slpm ~ 50slpm (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分) -準度等級: ±1% F.S -耐 壓:≤90bar -標準接口:0-5VDC,4-20mA可選 -響應(yīng)時間:≤2sec -使用范圍:2~* for max range -供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率:1×10-9atm·cc/sec -氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR |
-適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體) |
-無需溫度、壓力補償
韓國氣體質(zhì)量流量控制器M3050V
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應(yīng)用領(lǐng)域:
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術(shù) -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機 -混氣配氣系統(tǒng) -微反應(yīng)裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業(yè)