高精度電渦流傳感器SMT-9700高精度位置控制

高精度電渦流傳感器解決方案 

 在精確控制Z軸高度的過程中，晶片所在的位置必須精確地在能源的焦平面上。Kaman系統(tǒng)可以準(zhǔn)確測量Z軸的位置，并且提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號，以防止超出可承受范圍

高精度電渦流傳感器KAMAN SMT-9700系統(tǒng)的高精度和高靈活性使得其成為OEM設(shè)備的理想選擇。尤其在需要高精度定位的領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用空間。系統(tǒng)符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)， 可與13種不同的探頭組合，精度可達(dá)納米級。 

高精度電渦流傳感器特點

     1 類型：SMT-9700

     2 非接觸性：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個傳感器均可以無接觸地測量到目標(biāo)體的位置。

     3 高分辨率：系統(tǒng)可分辨出1納米的位置改變。

     4 可重復(fù)使用。

     5 應(yīng)用廣泛。

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