高精度位置控制 電渦流傳感器

電渦流傳感器KAMAN SMT-9700系統(tǒng)的高精度和高靈活性使得其成為OEM設(shè)備的理想選擇。尤其在需要高精度定位的領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用空間。系統(tǒng)符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)， 可與13種不同的探頭組合，精度可達(dá)納米級(jí)。 

電渦流傳感器SMT是一款專門為客戶定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、2或3通道可配電渦流傳感器探頭。擁有埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺寸小巧，并可配13種電渦流傳感器探頭。同時(shí)材料、線性、分辨率、帶寬各種性能可自行優(yōu)化。 

電渦流傳感器應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。

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