精密厚度測(cè)量 電渦流傳感器
KAMAN 測(cè)量系統(tǒng)采用電渦流傳感器對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行高精度的厚度測(cè)量。根據(jù)被測(cè)目標(biāo)物體的性質(zhì)不同,系統(tǒng)采取兩種不同的測(cè)量方案。
導(dǎo)體厚度測(cè)量
系統(tǒng)采用兩只電渦流傳感器的探頭,放置在被測(cè)目標(biāo)物體的兩側(cè)。當(dāng)傳感器工作時(shí),由于渦流作用,電渦流傳感器分別獲取從探頭表面到對(duì)應(yīng)側(cè)的物體表面,然后經(jīng)過(guò)微處理器做信號(hào)處理,從而精確得到被測(cè)物體的厚度
非導(dǎo)體厚度測(cè)量
由于一般被測(cè)的非導(dǎo)體材料不透光,因此單一的電渦流傳感器和單一的激光傳感器均不能獨(dú)立完成測(cè)量。因此,我們采取兩種電渦流傳感器結(jié)合的方式。首先,選擇一個(gè)金屬感應(yīng)面(鋁合金,不銹鋼均可,在金屬平板的上方安裝渦流和激光綜合傳感器。將被測(cè)物體板放置在電渦流傳感器和金屬感應(yīng)面之間,渦流和激光傳感器分別測(cè)出傳感器到陶瓷板和金屬平面相接觸的下表面距離S1和傳感器到陶瓷板上表面距離S2。則被測(cè)陶瓷板材料的厚度為C=S1-S2。電渦流傳感器的主要作用是事實(shí)測(cè)量陶瓷下表面距離傳感器的距離,這樣以防止任何其他的因素所帶來(lái)的影響
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