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產(chǎn)品描述
FSG4000系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點
-傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
-在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高；
-傳感器的零點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
-低功耗
-低壓損
-響應時間快
機械圖
技術參數(shù)
| FSG4003 | FSG4008 | 單位 | |
| 通徑 | 3 | 8 | mm |
| zui大流量 | 1,2,5 | 10,20 | SLPM |
| 量程比 | >100:1 | ||
| 精度 | ±(4%±1%FS) | ||
| 重復性 | ±2% | ||
| 零點輸出漂移 | ±30 | mV | |
| 輸出漂移 | 0.2 | % / ℃ | |
| 響應時間 | 100 | ms | |
| 工作電源 | 8~18Vdc, 50mA | ||
| 輸出方式 | 線性,模擬0.5~4.5Vdc | ||
| zui大流量壓損 | 100 | 500 | Pa |
| zui大工作壓力 | 0.4 | MPa | |
| 工作溫度 | -5~+55 | ℃ | |
| 儲存溫度 | -20~+65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95 | %RH | |
| 機械接口 | 可拆式軟管接頭 | NPT 1/4 | |
| 校準方式 | 空氣(或其他氣體), 20 ℃,101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | 23 | g |
