機(jī)器視覺是機(jī)器(通常指數(shù)字計(jì)算機(jī))對(duì)圖像進(jìn)行自動(dòng)處理并報(bào)告“圖像中有什么”的過(guò)程，也就是說(shuō)它識(shí)別圖像中的內(nèi)容。

機(jī)器視覺系統(tǒng)一般以計(jì)算機(jī)為中心，主要由視覺傳感器、高速圖像采集系統(tǒng)及圖像處理系統(tǒng)等模塊構(gòu)成。

晶圓級(jí)濾光片檢測(cè)的基本原理

晶圓級(jí)濾光片中的各種雜質(zhì)，在光學(xué)特性上必然與晶圓級(jí)濾光片本身有差異。當(dāng)光線入射晶圓級(jí)濾光片后，各種雜質(zhì)會(huì)在反射、折射等方面表現(xiàn)出與周圍晶圓級(jí)濾光片不同的異樣。例如，當(dāng)均勻光垂直入射晶圓級(jí)濾光片時(shí)，如晶圓級(jí)濾光片中沒(méi)有雜質(zhì)，出射的方向不會(huì)發(fā)生改變，所探測(cè)到的光也是均勻的；當(dāng)晶圓級(jí)濾光片中含有雜質(zhì)時(shí)，出射的光線就會(huì)發(fā)生變化，所探測(cè)到的圖像也要隨之改變。由于雜質(zhì)的存在，在其周圍就發(fā)生了應(yīng)力集中及變形，在圖像中也容易觀察。若遇到光透射型缺陷（如裂紋、氣泡等），光線在該缺陷位置會(huì)發(fā)生折射，光的強(qiáng)度比周圍的要大，因而相機(jī)靶面上探測(cè)到的光也相應(yīng)增強(qiáng)；若遇到光吸收型（如砂粒等）雜質(zhì)，則該缺陷位置的光會(huì)變?nèi)酰鄼C(jī)靶面上探測(cè)到的光比周圍的光要弱。分析相機(jī)采集到的圖像信號(hào)的強(qiáng)弱變化、圖像特征，便能獲取相應(yīng)的缺陷信息。

晶圓級(jí)濾光片檢測(cè)設(shè)備簡(jiǎn)介

IR-Cut filter表面缺陷自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備是基于晶圓級(jí)濾光片產(chǎn)品的生產(chǎn)現(xiàn)狀，對(duì)現(xiàn)有勞動(dòng)力密集的人工品質(zhì)檢測(cè)工藝環(huán)節(jié)進(jìn)行自動(dòng)化改造，通過(guò)研究設(shè)計(jì)一款晶圓級(jí)濾光片表面品質(zhì)自動(dòng)化檢測(cè)和分揀設(shè)備來(lái)替代人工檢測(cè)。本項(xiàng)目研發(fā)設(shè)計(jì)內(nèi)容主要由表面缺陷自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)設(shè)計(jì)、物流傳送系統(tǒng)及聯(lián)動(dòng)控制設(shè)計(jì)，正次品分揀機(jī)械手設(shè)計(jì)等三個(gè)部分組成。

通過(guò)該設(shè)備的成功實(shí)施預(yù)期能實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)濾光片表面品質(zhì)缺陷特征的自動(dòng)識(shí)別、正次品自動(dòng)分揀、檢測(cè)精度達(dá)到10微米、檢測(cè)速度到180片/分鐘的目標(biāo)。

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