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真空高溫?zé)Y(jié)爐,真空高溫?zé)Y(jié)爐,真空高溫?zé)Y(jié)爐,真空燒結(jié)爐;雙工位立式真空燒結(jié)爐;立式真空燒結(jié)爐;單、雙管臥式真空燒結(jié)爐;四氟燒結(jié)爐;陶瓷燒結(jié)爐;鏈(帶)式燒結(jié)爐;全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng);真空擴(kuò)散爐;系列高溫?cái)U(kuò)散爐;烘焙排臘爐;單管氫氣爐;陶瓷金屬化氫氣燒結(jié)爐;馬弗爐;消磁爐;全鉭玻璃絕緣子熔封爐;PFJ-2型平行縫焊機(jī);Y80-2/RZQ加壓檢漏臺(tái);WDNI系列高精度電腦溫度控制系統(tǒng);WDNX多功能溫度控制系統(tǒng)
該真空燒結(jié)退火爐是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。
主要技術(shù)指標(biāo):
1、工作溫度:400~
2、單點(diǎn)溫度控制精度≤±
3、恒溫區(qū)長(zhǎng)度:≥
4、升溫功率:≤5KVA
5、升溫時(shí)間:(室溫至
6、保溫功率:≤3KVA
7、重新定值重復(fù)性:≤±
8、重開機(jī)重復(fù)性:≤±
冷態(tài)真空度:≤5 x 10-3Pa(打開擴(kuò)散泵門后15min)
9、爐體傳動(dòng)升降分:自動(dòng)及點(diǎn)動(dòng),速度無(wú)級(jí)調(diào)速,自動(dòng)燒結(jié)燒結(jié)為0~30min
10、真空室尺寸:φ80㎜~φ
11、設(shè)備外形尺寸:1703 x 703 x 2450 (mm)(長(zhǎng) x 寬 x 高)
12、重量:約
13、工作條件:
(1)環(huán)境溫度:10~
(2)相對(duì)濕度:≤85%
(3)電網(wǎng)電壓:220V ± 10% ~ 380V