技術(shù)參數(shù)：
 

1.微聚焦X光管zui大功率50kV,50W, 1.0mA
2.試樣上X光聚焦點(diǎn)直徑300um、100um、30um、20um及連續(xù)可變 
3.自動(dòng)發(fā)射束濾波系統(tǒng)（包括全開、關(guān)閉和6個(gè)濾片，共8個(gè)位置）
4.10x及100x（300x）彩色CCD攝像頭
5.樣品室尺寸標(biāo)準(zhǔn)型:直徑360mm,高310mm（大樣品室型為700x700x700mm）
6.自動(dòng)樣品臺(tái)行程100x100x100mm（大樣品室型為300x300x100mm）
7. 標(biāo)準(zhǔn)精度計(jì)算機(jī)控制的XYZ樣品臺(tái)
8.樣品臺(tái)載重量: 5Kg,10Kg（大樣品室）
9.可以在真空下或大氣壓下進(jìn)行檢測
10.可以進(jìn)行單點(diǎn)或給定多點(diǎn)的自動(dòng)分析
11.可以進(jìn)行單視域或多視域組合的元素分布分析（面掃描與線掃描）
12.可以進(jìn)行超越單視域的元素分布分析（在組合視域中選擇單幅元素分布分析范圍