高溫壓力監(jiān)測儀,高溫壓力控制儀,高溫壓力傳感器
壓力傳感器的原理和應(yīng)用
壓力傳感器是具有電源、接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器和信號處理的微型的機(jī)電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設(shè)計(jì)上,低成本而高精度地進(jìn)行大量的生產(chǎn)。其實(shí)傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當(dāng)金屬彈性體受到外力的作用而導(dǎo)致變形的時(shí)候,經(jīng)過機(jī)械量的彈性的變形,然后待電量轉(zhuǎn)換之后再輸出,因此,MEMS壓力傳感器的*性有很多,尺寸很小,性價(jià)比很高。它主要分為兩種:硅電容式和硅壓阻式。 根據(jù)MEMS的有關(guān)技術(shù),制造出電容式傳感器的形狀為橫隔柵狀的,上面跟下面的兩根橫隔柵就可以組成一組傳感器。
當(dāng)上橫隔柵受到壓力作用的時(shí)候,就會(huì)向下移動(dòng),接著,就會(huì)使上面跟下面的兩根橫隔柵之間的距離發(fā)生改變,換句話說,板之間的電容量就會(huì)發(fā)生變化。硅壓阻式壓力傳感器使用了精密度很高的半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片來形成惠更斯電橋,這樣就可以利用它來作為力電變換來測量有關(guān)的電路。它的成本較低、功耗較低、測量的精密度較高。這種傳感器,如果壓力沒有發(fā)生變化,那么它的輸出就為零,所以幾乎是不需要耗電的。 而MEMS硅壓阻式壓力傳感器就是應(yīng)用了四周的固定、形狀為圓形的應(yīng)力杯硅薄膜的內(nèi)壁,同時(shí)應(yīng)用的有關(guān)技術(shù),可以直接地把四個(gè)精密度高的半導(dǎo)體應(yīng)變片直接地刻制到它的表層應(yīng)力zui大的地方,這樣就可以形成惠更斯電橋,因此可以作為力電變換來測量電路了,這是直接地把壓力轉(zhuǎn)換成為電量而測量的。
壓力傳感器的應(yīng)用非常廣泛,工業(yè)電子:工業(yè)配料稱重、數(shù)字流量表以及數(shù)字壓力表等等。消費(fèi)電子:太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器、洗碗機(jī)、飲水機(jī)、洗衣機(jī)、空調(diào)壓力傳感器,微波爐、健康秤以及*等等。汽車電子:柴油機(jī)的共軌壓力傳感器、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的進(jìn)氣歧管壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)的空氣壓力傳感器以及發(fā)動(dòng)機(jī)的機(jī)油壓力傳感器等等?,F(xiàn)在很多集成電路之中的四寸圓形的晶片的很多工藝都是MENS生產(chǎn)出來所用的。
PY210H簡介:
采用進(jìn)口擴(kuò)散硅感壓芯體,高溫補(bǔ)償zui高介質(zhì)溫度可達(dá)350度,全不銹鋼封焊結(jié)構(gòu),具有良好的防潮能力及優(yōu)異的介質(zhì)兼容性,適用于介質(zhì)壓力微弱的負(fù)壓壓力場合的測量與控制。
產(chǎn) 品 說 明
1、產(chǎn)品概述及特點(diǎn):
A、采用進(jìn)口擴(kuò)散硅感壓芯片;
B、選進(jìn)的貼片工藝,具有零點(diǎn)、滿量程補(bǔ)償,溫度補(bǔ)償;
C、高精度和高穩(wěn)定性放大集成電路;
D、全封焊結(jié)構(gòu)、抗沖擊、耐疲勞、可靠性高;
E、傳感器后端配套三位半數(shù)顯表頭;
F、輸出信號多樣化(有電流型、電壓型);
G、結(jié)構(gòu)小巧,安裝方便;
H、采用高溫補(bǔ)償zui高介質(zhì)溫度可達(dá)350度;
2、產(chǎn)品應(yīng)用:
A、液壓及氣動(dòng)控制系統(tǒng);
B、石化、環(huán)保、空氣壓縮;
C、樓宇自動(dòng)化、恒壓供水系統(tǒng);
D、工業(yè)過程檢測與控制;實(shí)驗(yàn)室壓力校驗(yàn)
F、電站運(yùn)行巡檢、機(jī)車制動(dòng)系統(tǒng);
3、主要技術(shù)參數(shù):
被測介質(zhì): 氣體、液體及蒸氣
壓力類型: 表壓 絕壓 差壓
量 程: -100KPa-0.6Mpa~60 Mpa,0~±10KPa~±100KPa間任意可選
輸 出:4~20mA(二線制)、0~5VDC、0~10VDC、0.5~4.5VDC(三線制)
綜合精度: ±0.1%FS(量程10MPa以上)、±0.25%FS、±0.5%FS
供 電: 24V Dc(9~36VDC)
絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC
負(fù)載電阻: 電流輸出型:zui大800Ω
電壓輸出型:大于50KΩ
介質(zhì)溫度: -20~85℃、-20~150℃、-20~200℃、-20~300℃(可選)
環(huán)境溫度:-20~85℃
儲存溫度:-40~90℃
相對濕度: 0~95% RH
密封等級:IP65/IP68
過載能力: 150%FS
響應(yīng)時(shí)間:≤10mS
穩(wěn) 定 性:≤±0.15%FS/年
振動(dòng)影響:≤±0.15%FS/年(機(jī)械振動(dòng)頻率20Hz~1000Hz)
電氣連接:赫絲曼接頭 緊線螺母 航空接插件 四線屏蔽線等
連接螺紋材料:304/316L不銹鋼
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