概述
便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。
它主要由電器測(cè)量部份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時(shí)可加配測(cè)試架。
為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供，隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分先材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1～100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量瓿差不超過(guò)±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平。
測(cè)量范圍：
可測(cè)量 電阻率：0.01～199.9Ω•cm。
可測(cè)方塊電阻：0.1～1999Ω/口
當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔
10mA量程：0.1～1mA 連續(xù)可調(diào)
10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%
適合測(cè)量各種厚度的硅片
（3） 直流數(shù)字電壓表
測(cè)量范圍：0～199.9mv
靈敏度：100μv
準(zhǔn)確度：0.2%（±2個(gè)字）
（4） 供電電源：
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W
（5） 使用環(huán)境：
相對(duì)濕度≤80%
（6） 重量、體積
重量：2.2 公斤
體積：寬210×高100×深240（mm）
（7）KD探針頭
壓痕直徑：30/50μm
間距：1.00mm
探針合力：8±1N
針材：TC