SiGNUM ™ RELM 高精度直線光柵系列產(chǎn)品
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SiGNUM ™RELM
系列產(chǎn)品
光柵尺
• 精度：精度可達(dá)每米±1 um，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定
• 低膨脹系數(shù)：因鋼，<1.4 um/m/° C
• 用夾具或背面自帶的特殊配方的不干膠安裝
• IN-TRAC ™光學(xué)零位
• RELM：參考零位在光柵尺的中點(diǎn)
• RELE：參考零位距RELE 光柵尺端點(diǎn)20 mm
• 可裝雙光學(xué)限位輸出
• 以多種固定長(zhǎng)度供應(yīng)，也可根據(jù)客戶的要求提供定制的長(zhǎng)度
• 柵尺截面：1.5 mm x 15 mm
SiGNUM™讀數(shù)頭和Si細(xì)分盒
• 動(dòng)態(tài)信號(hào)處理使周期誤差通常小于±40 nm，具有“小柵距”
光柵的性能
• 速度高達(dá)12.5 m/s
• 工作溫度達(dá)85 ° C
• 多語言SiGNUM ™軟件簡(jiǎn)化了安裝過程，通過USB 連接PC
機(jī)來提供系統(tǒng)診斷
• 讀數(shù)頭和接口上的內(nèi)置LED 指示燈能夠?qū)崿F(xiàn)*安裝和系統(tǒng)
診斷
• 用戶可選的AGC 保持1 Vpp 的模擬信號(hào)幅度
• 讀數(shù)頭密封等級(jí)為IP64，接口密封等級(jí)為IP30
• 模擬信號(hào)輸出，信號(hào)周期為20 μm
• 數(shù)字信號(hào)，分辨率從5 um 到20 nm
• 有三態(tài)或差動(dòng)線驅(qū)動(dòng)的報(bào)警信號(hào)可選
• 警告和限位可被選為活動(dòng) - 高或活動(dòng) - 低
• 讀數(shù)頭：14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm （H x L x W）
• 高柔性、UL 認(rèn)可的電纜 — 在讀數(shù)頭和細(xì)分盒之間長(zhǎng)達(dá)10 m

RG2 20 μm 光柵系列
RGH22
• 小巧堅(jiān)固的外殼
• 內(nèi)置細(xì)分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率從5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器
• 16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RGH24
• 超小型堅(jiān)固外殼
• 內(nèi)置細(xì)分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率從5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
• 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm （H x L x W）
RGH25
• 超小型堅(jiān)固外殼
• 外置細(xì)分盒配有LED 安裝指示燈
• 分辨率從5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
• 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm （H x L x W）
• 超高真空系統(tǒng)可選 — 參見第13 頁
RGH25F
• 超高分辨率
• 分辨率有2 μm、50 nm、20 nm 和10 nm 可選
• 參考零位
• 自調(diào)節(jié)電路提供低周期誤差 （SDE）
• 自動(dòng)增益控制和自動(dòng)偏移量控制
• 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm （H x L x W）
• 超高真空系統(tǒng)可選 — 參見第13 頁
RGH26
• 與Mitsubishi Melservo® 串行通訊口兼容的讀數(shù)頭
• 小巧堅(jiān)固的外殼
• 內(nèi)置細(xì)分盒和串口轉(zhuǎn)換
• 分辨率有5 μm、1 μm、0.5 μm 可選（Mitsubishi 串行輸出）
• 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器
• 16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RG4 40 μm 光柵系列
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RG4 40 μm
光柵系列
RGH41
• 與RGS40-S 鋼帶光柵兼容
• 小巧堅(jiān)固的外殼
• 寬松的安裝公差
• 內(nèi)置細(xì)分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率有10 μm、5 μm、2 μm 和1 μm 可選
• 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器
• 17.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RGH34
• 與RGS40-S 鋼帶光柵和其他40 μm 反射光柵兼容
• 與40 μm 柵距RESR 圓光柵兼容
• 超小、緊湊的讀數(shù)頭
• 寬松的安裝公差
• 質(zhì)量<2g
• 分辨率有10 μm、5 μm、2 μm、1 μm、0.4 μm、0.2 和
0.1 μm 可選
• FPC 電纜
• 參考零位或單限位開關(guān)傳感器
• 9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm （H x L x W）
RGH40
• 讀取RGS40-G 玻璃光柵和40 μm RESR 圓光柵
• 小巧堅(jiān)固的外殼
• 寬松的安裝公差
• 內(nèi)置細(xì)分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率有10 μm、5 μm、1 μm、0.4 μm 和0.2 μm 可選
• 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器
• 17.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RGS40-G
• 柵距為40 μm 的鍍鉻刻線玻璃光柵尺
• 從120 mm 到1 m 的一系列可選測(cè)量長(zhǎng)度
• 熱膨脹系數(shù)≈ 8.5 μm/m/° C
• 精度< ±5 μm/m
• 可用金屬夾或可選的粘貼安裝方式
• 與RGH34 和RGH40 讀數(shù)頭配合使用

圓光柵系列產(chǎn)品
SiGNUM ™ RESM 20 μm
• 刻劃精度達(dá)±0.5 秒
• 分辨率達(dá)0.02″
• 重復(fù)精度達(dá)0.02″
• 一系列直徑和刻線數(shù)，從Ø52 mm 到Ø417 mm
• IN-TRAC ™光學(xué)零位
• 具有的錐面安裝方式*地降低了安裝誤差，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成
• 截面尺寸10 mm x 10 mm
• 超低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量?jī)?nèi)環(huán)可供選擇
• 20 μm 柵距
• 與SiGNUM ™ SR 讀數(shù)頭兼容
• 讀數(shù)頭按IP64 標(biāo)準(zhǔn)密封，如果刻劃表面粘有污漬可通過擦拭的方法
清除
• 周期誤差通常小于±40 nm
• 工作溫度達(dá)85 ° C，速度達(dá)4500 rev/min
• 多語言SiGNUM ™軟件使安裝簡(jiǎn)便，并可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)診斷
RESR 20 μm 和40 μm
• 刻劃精度達(dá)±0.5 秒
• 分辨率達(dá)0.01″
• 重復(fù)精度達(dá)0.01″
• 一系列直徑和刻線數(shù)，從Ø52 mm 到Ø417 mm
• 與UHV 兼容（RESR 和RGH20F）
• 具有的錐面安裝方式*地降低了安裝誤差，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成
• 截面尺寸10 mm x 10 mm
• 超低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量?jī)?nèi)環(huán)可供選擇
RGH20D SiGNUM™