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儀器特點
l 主軸采用超高精度的氣浮軸，使儀器具有旋轉精度高、穩(wěn)定性好、承載能力強、非接觸、不磨損、長壽命的優(yōu)點，達到*精度標準。
l 工作臺面和立柱采用天然花崗巖材料使儀器機械性能更加穩(wěn)定可靠、不變形、不漂移、造型美觀。
l 兩級內置空氣過濾器、一個保護壓力繼電器和一個油水分離器裝置，使壓縮空氣工作氣壓穩(wěn)定、干凈、干燥，確保氣浮主軸旋轉穩(wěn)定性好，精度高。
l 主軸電機采用高精度調速電機，使儀器主軸旋轉平穩(wěn)可靠
l 傳感器垂直和水平運動采用直線電機驅動，使儀器操作方便，調整精準。
l 采用2048線/周的高精度旋轉編碼器，保證數(shù)據采樣分辨率。
l 儀器的電感信號測量電路為本公司自主研制的高精度LVDT線路，測量精度和穩(wěn)定性處于國內水平。
l 基于windowsXP操作系統(tǒng)的測量分析管理軟件具有自動采集、自動修正偏心、儀器校準、數(shù)字濾波、符合ISO標準的測量參數(shù)評定、測量結果數(shù)據庫存檔、打印輸出等功能。
技術參數(shù)
|
項目 | YD | YD | YD |
| 測量項目 | 圓度、波紋度、同心度、同軸度、平行度、平面度、垂直度、偏心、跳動量。 | ||
| 主軸精度 | ±0.035µm | ±0.025µm | ±0.0125µm |
| 系統(tǒng)精度 | ≤0.08µm | ≤0.05µm | ≤0.03µm |
| 主軸轉速 | 5r/min | ||
| 轉臺zui大載荷 | | ||
| 轉臺有效直徑 | | ||
| 工件zui小內徑 | | ||
| 測量高度 | | ||
| 旋轉工作臺 | 精密調平調心 | ||
| 傳感器移動 | 操縱桿電動控制 | ||
| 量程范圍 | ±50µm, ±100µm,±400µm | ||
| 測量分辨率 | 0.01µm | ||
| zui大采樣分辨率 | 8192點/周 | ||
| 數(shù)字濾波檔 | 2-15、2-50、2-150、2-500、15-150、15-250 | ||
| 放大倍數(shù) | 400、1000、2000、4000、10000、20000、40000、80000、100000 | ||
| 圓度評定方法 | zui小二乘圓LSC、zui小區(qū)域圓MZC、zui大內切圓MIC、zui小外接圓MCC | ||
| 其他功能 | 諧波分析、斜率分析、數(shù)據庫存檔 | ||
| 擴展功能 | 部分圓弧圓度評定、電機換向器圓度、片間差測量 | ||
| 選配件 | 精密三爪卡盤、部分圓弧評定軟件、電機換向器測量軟件 | ||
| 工作氣壓 | 0.40～0.43MPa | ||
| 氣源壓力 | 0.45～0.80Mpa | ||
| 主機外形尺寸 | 長×寬×高： | ||
| 主機重量 | 約 | ||
