熱式氣體質(zhì)量流量控制器(模擬信號)
熱式氣體質(zhì)量流量控制器(模擬信號)
型號 AC-S030C
流量規(guī)格(氮?dú)猓?10SCCM-30SLM
控制量程 2%-100 %
精度 ≤±1.0%F.S
線性 ≤±0.5%F.S
重復(fù)性 ≤±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應(yīng)時間 1-3sec
耐壓 ≤0-50Bar
通信信號 0-5V/4-20mA
供電方式 15VDC or 24VDC (300mA)
泄漏率 1×10-9atm. cc/sec He
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