薄膜測厚儀
型號:GKDJ-SGC10
庫號:M36861
厚度范圍
20nm-50um(只測膜厚),
100nm-10um(同時測量膜厚和光學常數(shù)n,k)
根據(jù)薄膜材料的種類,其范圍有所不同。
準確性 <1nm或<0.5%
重復性 0.1nm
波長范圍 380nm-1000nm
可測層數(shù) 1-4層
樣品尺寸 樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm
測量速度 5s-60s
光斑直徑 1.2mm-10mm可調(diào)
樣品臺 290mm*160mm
光源 長壽命溴鎢燈(2000h)
光纖 純石英寬光譜光纖
探測器 進口光纖光譜儀
電源 AC100V-240V,50HZ-60HZ
重量 18kg
尺寸 300mm*300mm*350mm