技術(shù)參數(shù): | ||
高精度: | 3+L/75um | |
大行程: | X、Y行程:200*100mm;Z行程:100(調(diào)焦用) | |
物鏡: | 可選倍數(shù): | 10X 、 20X 50X 、100X |
物方視場(chǎng) | Ф30、 Ф15、 Ф6、 Ф3 | |
外型尺寸 | 780*780*1100 mm | |
儀器重量 | 160KG |
13、兩圓之間垂直距離、水平距離、圓心距離、直徑。