應(yīng)用范圍：光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣，它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結(jié)構(gòu)，如表面粗糙度；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度；標(biāo)尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu)；鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌；磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。由于儀器測量精度高，重復(fù)性好，具有非接觸和三維測量等特點(diǎn)，并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測量結(jié)果，本儀器適用于各級測試、計(jì)量研究單位，工礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等。

儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習(xí)慣；
應(yīng)用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質(zhì)量；
用低壓電源代替高壓電源，節(jié)省了儀器成本；
用國產(chǎn)的代替德國進(jìn)口壓電陶瓷，解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題；
增加了自動步距和亮度校正程序，同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能；

 表面微觀不平深度測量范圍：130?1nm
 測量的重復(fù)性：sRa≤0.5nm
 測量精度：8nm
 物鏡倍率：40X
 數(shù)值孔徑：0.65
 儀器視場  目視：f0.25mm
攝象：0.13X0.13mm
儀器放大倍數(shù)  目視：500X 
攝象（計(jì)算機(jī)屏幕觀察）：2500X
  接收器測量列陣：1000X1000
  象素尺寸：5.2X5.2nm