質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行測量；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行測量和控制。它們在半導(dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、和真空等多種領(lǐng)域的科研和中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,
可任意位置安裝, 并便于與計算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動控制。

特點(diǎn)
　　• 高耐壓性
　　• 橡膠密封、模擬電路的MFC
　　• 采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
　　• CE，兼容

技術(shù)參數(shù)
類型：D07-11C
流量規(guī)格：( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度：±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
線性：±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
重復(fù)精度：±0.2 %F.S
響應(yīng)時間：電特性:10sec 氣特性:≤4sec
大工作壓力：10 MPa
氣壓降：-
工作壓差范圍：≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa
＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa
耐壓：10 MPa
工作環(huán)境溫度：5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號：0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
電源：+15 V 50 mA，-15V 200 mA
重量：1.2kg