維意真空手套箱金屬有機(jī)蒸發(fā)一體機(jī)支持定制
SEV-400手套箱金屬有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)
真空腔室:采用立式方形結(jié)構(gòu),前門為水平滑開式,位于手套箱體內(nèi)部,前開門便于蒸發(fā)材料和樣片在保護(hù)環(huán)境下裝卸,后開門便于真空室的清理維護(hù)(后門帶鎖緊裝置在充氣條件下保持腔室密閉與大氣環(huán)境隔離),整機(jī)位于手套箱體下面,節(jié)約占地面積;
真空系統(tǒng):國產(chǎn)分子泵作為主抽泵,真空極限2.0?10-5Pa,另可選進(jìn)口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵,真空極限3.0?10-6Pa;
真空抽速:大氣~5?10-4Pa≤30min(手套箱環(huán)境中);
基片臺(tái):120mm基片/15~25mmITO/FTO玻璃25片,可定制一體化高精度刻蝕掩膜板,基片臺(tái)公轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速0~20r/min可調(diào),襯底可選擇加熱(室溫~300℃可調(diào)可控)或水冷,基片臺(tái)可選升降,源基距350mm;
蒸發(fā)源及電源:4~6組金屬或有機(jī)束源爐蒸發(fā)源可選,多元共蒸獲得復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜,功能強(qiáng)大,性能穩(wěn)定;真空專業(yè)蒸發(fā)電源,恒流/恒功率控制,電流、功率可以預(yù)先設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動(dòng)和停止的自動(dòng)控制功能;
膜厚監(jiān)控儀:采用國產(chǎn)或進(jìn)口膜厚監(jiān)控儀在線監(jiān)測(cè)和控制蒸發(fā)速率、膜厚;
控制方式:PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),具備漏氣自檢與提示、通訊故障,實(shí)現(xiàn)一鍵抽停真空。
維意真空手套箱金屬有機(jī)蒸發(fā)一體機(jī)支持定制