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卡盤zonglen三溫Chuck探針臺卡盤
晶圓盤系統(tǒng)用于半導體晶圓的表征測試、建模、工藝開發(fā)、設計調(diào)試,去BUG或IC故障分析,具有所有主要分析探針臺集成所需的性能和多功能性。三溫Chuck(或晶圓卡盤)是芯片測試過程中用于固定和定位晶圓的設備,特別是在進行三溫測試時。三溫測試是一種芯片測試方法,用于檢測芯片在不同溫度下的可靠性和穩(wěn)定性。
卡盤zonglen三溫Chuck探針臺卡盤
對于要求快速溫度變化的分析和生產(chǎn)測試應用,降溫和加熱時間對晶圓測試尤為重要。溫度轉(zhuǎn)換率比基于水或空氣的傳統(tǒng)系統(tǒng)要快得多。
三溫Chuck主要在三溫測試中使用,通過它可以將晶圓固定在一個特定的位置,以便進行準確的測試。
它能夠支持在低溫、常溫和高溫三種不同溫度環(huán)境下的測試,以評估芯片在各種工作條件下的性能和壽命。
低溫測試:通過chiller降低chuck腔體內(nèi)溫度來實現(xiàn)。
常溫測試:在標準室溫條件下進行。
高溫測試:通過chuck加熱實現(xiàn)。
主要特點:
· 低噪音
· 溫度范圍為-60°C至+175°C,
· 快速冷卻/加熱速率高達25°C/min
· 不需要LN2、CO2,減少成本
· 不需要在配置冷水機
· 溫度穩(wěn)定性±1°C
· 體積小,便于集成
· 免維護
應用程序:
· 探針臺
· 冷熱平臺
· 低輪廓器件,表面平坦器件的表征測試
· 功率器件的晶圓測試
聚焦超低溫,低溫,環(huán)境模擬,可靠性輔助測試解決方案
超過16年行業(yè)技術沉淀,掌握核心技術
多項技術,細分領域獨角獸
持續(xù)的創(chuàng)新產(chǎn)品和服務,為客戶提供更加滿意的體驗
速度:1小時內(nèi)響應,24小時內(nèi)提供實施方案。
專業(yè):多名工程師與熱流儀Temperature Cycling System相伴10多年。
維修:原廠標準服務。
料件:原廠品牌料件。
保障:提供交換式維修。
信息:設備檔案更新與備份,做客戶設備的管家。