功率半導(dǎo)體標準動態(tài)特性測試系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體標準動態(tài)特性主要完成功率器件的開通特性、關(guān)斷特性以及極限關(guān)斷特性參數(shù)的測試。
本技術(shù)規(guī)格書ZY-Eon適用于IGCT功率半導(dǎo)體標準動態(tài)特性測試臺(下面簡稱測試臺),規(guī)定了測試臺的主要技術(shù)要求,參數(shù)范圍,操作流程,試驗方法及檢驗規(guī)則等。
本技術(shù)規(guī)范并未對一切技術(shù)細節(jié)做出規(guī)定,所提供的貨物應(yīng)符合工業(yè)標準和本技術(shù)規(guī)范中所提要求。
1. 引用標準[濱1]
GB/T 15291-2015 半導(dǎo)體器件 第6部分:晶閘管
JB/T 7624-2013 整流二極管測試方法
JB/T 7626-2013 反向阻斷三極晶閘管測試方法
以及國標、IEC、IEEE相關(guān)標準,以上標準均執(zhí)行新版本。如本技術(shù)規(guī)范與上述各標準之間有矛盾,則應(yīng)滿足較高標準。
2. 技術(shù)要求 功率半導(dǎo)體標準動態(tài)特性測試系統(tǒng)
序號 | 項目 | 參數(shù) | 備注 | |
1 | 常規(guī)開通 | 通態(tài)電流 | 范圍:200-10000A,連續(xù)可調(diào); | |
主電容電壓 | 范圍:300-7000V,連續(xù)可調(diào); | |||
導(dǎo)通電流寬度設(shè)定范圍 | 10μs-5ms | |||
上升時間測量范圍 | 0.01-20μs±3%±0.05μs | |||
開通反饋延遲時間測量范圍 | 0.01-20μs±3%±0.05μs | |||
開通延遲時間測量范圍 | 0.01-20μs±3%±0.05μs | |||
開通能量測量范圍 | 0.01-200J±3%±0.1J | |||
開通di/dt測量范圍 | 10-5000A/μs±3%±10A/μs | |||
2 | 常規(guī)關(guān)斷 | 關(guān)斷電流 | 范圍:200-10000A,連續(xù)可調(diào); | |
關(guān)斷反饋延遲時間測量范圍 | 0.01-20μs±3%±0.05μs | |||
關(guān)斷延遲時間測量范圍 | 0.01-40μs±3%±0.05μs | |||
關(guān)斷能量測量范圍 | 0.01-1000J±3%±0.1J | |||
斷態(tài)電壓上升率測量范圍 | 10-5000V/μs±3%±10V/μs | |||
斷態(tài)電流下降率測量范圍 | 10-10000A/μs±3%±10A/μs | |||
*主回路寄生電感 | ≤300nH | |||
3 | 極限關(guān)斷 | 關(guān)斷電流 | 范圍:<20000A; | 設(shè)備能力 |
4 | 數(shù)據(jù)采集和處理單元 | 示波器 | 帶寬不低于500MHz,采樣率不低于6.5Gs/s | |
試品控制方式 | 光纖控制 |
2.1. 自動恒溫壓力夾具
序號 | 項目 | 參數(shù) | 備注 |
1 | 工作方式 | 自動,氣動 | |
2 | 壓力范圍 | 10~130KN;分辨率0.1 KN,精度±5%±1KN。 | |
3 | 溫度控制范圍 | 70~180℃,分辨率0.1℃;
| 高壓陽極控溫器采用非接觸式測溫 |
(重慶科研院所檢測)
[濱1]梳理本技術(shù)規(guī)格書引用到的標準