PPE 成立于 1975 年，總部位于英國布萊克本，在英國和美國設(shè)有制造工廠，并在美國、歐洲和亞洲設(shè)有銷售辦事處和渠道合作伙伴網(wǎng)絡(luò)。該公司的成功基于不斷開發(fā)新型彈性體材料以及客戶服務(wù)和技術(shù)支持。

PPE密封產(chǎn)品介紹

描述

一種半透明米色化合物，具有半結(jié)晶的全氟聚合物納米填料，專門為滿足半導(dǎo)體和生物分析行業(yè)的需求而開發(fā)。與基于氟的化學(xué)物兼容，普遍適用于包括光刻、等離子體、PVD、CVD、蝕刻、剝離和清洗在內(nèi)的濕法和干法半導(dǎo)體工藝。

Perlast® G67P結(jié)合了全氟化聚合物骨架、全氟化納米填料系統(tǒng)（無無機(jī)填料）和高度氟化的交聯(lián)工藝，從而形成了具有純度和化學(xué)耐受性的全氟彈性體。

Perlast® G67P的壓縮模量顯著低于傳統(tǒng)的全氟彈性體，使其具有高度的柔順性。因此，在給定的壓縮下，它表現(xiàn)出低反應(yīng)力，這導(dǎo)致對密封件的應(yīng)力較小，從而延長了使用壽命。

關(guān)鍵屬性  

極其純凈 - 不含可能導(dǎo)致顆粒化問題的無機(jī)填料。

優(yōu)異的化學(xué)和溫度耐受性。

優(yōu)異的機(jī)械性能。

極低的放氣特性，使其非常適合真空密封應(yīng)用。

高密封效率。

高材料柔順性，減少表面滲透。

降低的首片效應(yīng)。

降低總體擁有成本。

典型應(yīng)用  

動態(tài)密封 - 閘閥、門密封、擺動閥、ISO閥、粘接門和唇形密封。

靜態(tài)密封 - O形圈、主體密封、腔室蓋密封、陰極組件密封、靜電卡盤密封和法蘭配件。

晶圓處理產(chǎn)品 - 末端執(zhí)行器墊和真空吸盤

適用于：

濕法和干法半導(dǎo)體工藝，包括：  

光刻

PVD

CVD

蝕刻

剝離

清洗

激光/光學(xué)設(shè)備

此系列中的其他材料

Perlast G74P（超純半透明）

Perlast G75H（超純白色）

PPE配件其他常用型號：

PPE 214-G67P

PPE SEAL NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY

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PPE密封214-G67P介紹