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SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)
系統(tǒng)概述
SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)是我司自主研發(fā)的半導(dǎo)體分立器件電學(xué)參數(shù)測試的專用設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠家進行圓片中測或封裝成測，各類整機廠家、科研院所的質(zhì)量檢測部門IQC進行來料檢驗，研發(fā)部門進行失效分析、選型配對、可靠性分析測試。
系統(tǒng)為桌面放置的臺式機結(jié)構(gòu)，由測試主機和程控電腦兩大部分組成。外掛各類夾具和適配器，還能夠通過Prober接口、Handler接口可選（16Bin）連接分選機和機械手建立工作站，實現(xiàn)快速批量化測試。通過軟件設(shè)置可依照被測器件的參數(shù)等級進行自動分類存放。能夠應(yīng)對“來料檢驗 ”“失效分析 ”“選型配對 ”“量產(chǎn)測試 ”等不同應(yīng)用場景。
系統(tǒng)軟件基于Labview平臺開發(fā)，填充式菜單界面，帶自動糾錯功能，可進行器件參數(shù)的分檔、分類編程，并可實時顯示和記錄分檔、分類測試結(jié)果，測試結(jié)果和統(tǒng)計結(jié)果均可以EXCEL格式存貯于計算機中，根據(jù)需要可以打印輸出。
系統(tǒng)特點
◆ 系統(tǒng)采用大規(guī)模32位ARM&MCU設(shè)計
◆ 可測試7大類26分類的電子元器件
◆ 程控高壓源1400V，提供2000V選配
◆ 程控高流源40A，提供100A,200A,500A 選配
◆ 控制極電壓可達40V，電流可達100mA
◆ 系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集采用16位ADC，1M/S采樣速率
◆ 測試漏流最小分辨率達1.5pA
◆ 四線開爾文連接保證加載測量的準確
◆ Prober接口、Handler接口可選（16Bin）
◆ 連接分選機測試量為每小時1萬個
◆ 可為用戶提供豐富的測試適配器
◆ 可選配測試結(jié)電容，諸如Ciss，Crss，Coss；
◆ 系統(tǒng)符合《GJB128半導(dǎo)體分立器件試驗方法》等相應(yīng)的標及國際標準。
系統(tǒng)指標
? 技術(shù)指標
系統(tǒng)功能模塊 | 量程 | 分辨率 | 精度 |
低壓源（FV） | 0～±40V | 1uV | ±0.1% |
低流源（FI） | 0～±100mA | 1pA | ±0.1% |
高壓源（HVS） | 0～±1400V/2000V | 1mV | ±0.5% |
高流源（HIS） | 0～±40A/100A/200A/500A | 1uA | ±1% |
電壓測量(MV) | 0～±1400V/2000V | 1uV | ±0.1% |
電流測量(MI) | 0～±40A/100A/200A/500A | 1pA | ±0.1% |
? 測試能力
器件種類 | 測試參數(shù) |
二極管類 (含TVS SBD ZENER整流橋) | BVR、IR、VF、VZ、RZ、ZZ、Vrrm、Irrm、Tr（選配） |
三極管 | BVCBO、BVCEO、BVCES、BVEBO、HFE、ICBO、ICEO、ICES、IEBO、VBESAT、VCESAT、VBE、選配（Ciss、Coss、Crss） |
可控硅/雙向可控硅 | IGT、VGT、VTM、VDRM、VRRM、IH、IL、IDRM、IRRM |
場效應(yīng)管 | VGSTH、IDSS、BVDSS、VDSON、IGSS、VSD、VGSON、IDON、RDSON、GFS、選配（Ciss、Coss、Crss） |
IGBT | BVCES、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VCEON、VGEON、VF、ICON、選配（Ciss、Coss、Crss） |
壓敏電阻 | VRRM、VDRM、IRRM、IDRM、Cka |
光耦 | VF、IR、BVCEO、VF、IR、BVCEO、BVECO、ICEO、CTR、VCESAT、 選配（Tr、Tf） |
三/四端穩(wěn)壓器 | Vout、Iin、IB、VD、Max_lo、Ro |
繼電器 | Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、選配（Ton、Toff） |
功率驅(qū)動器、 高邊功率開關(guān) | Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt |
電壓保護器 | Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr |
基準IC模塊 | Vref、 △Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka |
傳感監(jiān)測類 | 電流傳感器（ACS712XX系列、CSNR_15XX系列）（選配）； 霍爾器件（MT44XX系列、A12XX系列）（選配）； 電壓監(jiān)控器（選配）；電壓復(fù)位IC（選配）； |
應(yīng)用領(lǐng)域及場景
>測試分析(功率器件研發(fā)設(shè)計階段的初始測試)
>失效分析(對失效器件進行測試，查找失效機理。以便于對電子整機的整體設(shè)計和使用過程提出改善方案)
>選型配對(在器件焊接至電路板之前進行全部測試，將測試數(shù)據(jù)比較一致的器件進行分類配對)
>來料檢驗(研究所及電子廠的質(zhì)量部(IQC)對入廠器件進行抽檢/全檢，把控器件的良品率)
>量產(chǎn)測試(可連接機械手、掃碼槍、分選機等各類輔助機械設(shè)備，實現(xiàn)規(guī)?；?、自動化測試)
