advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢

性能安全穩(wěn)定可靠
運行平穩(wěn)性好、高真空度高品質
具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢性價比
適用于潔凈領域,輕量級設計使其與產(chǎn)線融于一體,作業(yè)空間利用率高高潔凈度
優(yōu)選材料、加工以及表面處理控制技術
動作靈活輕巧快捷,操作持久耐用高優(yōu)良特性
滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體
Application areas
產(chǎn)品應用領域
半導體晶圓搬運
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
晶圓尺寸
φ200mm
-
負載重量
≤0.5Kg
-
R軸重復定位精度
±0.05mm
-
θ軸重復定位精度
±0.006°
-
R軸行程
≤530.5mm
-
T軸行程
360°
-
真空度
<1×10-7 Torr
-
漏率
<1×10-9 std.cc/sec He
-
整機重量
25kg