設(shè)計(jì)特點(diǎn)

支持 100 kg 的負(fù)載能力，行程可達(dá) 50 mm，峰值速度為 20 mm/s

由于高精度交叉滾子軸承，提供出色的直線度和角度性能

通過結(jié)合精密研磨的滾珠絲杠、無槽扭矩電機(jī)和低擴(kuò)展線性編碼器，實(shí)現(xiàn)10 nm的步長

由于采用高可靠性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使用壽命長

與 PRO-SL 和 PRO-LM 線性平臺無縫集成

提供 ThermoComp®，可在不斷變化的環(huán)境中實(shí)現(xiàn)一致的性能

關(guān)鍵應(yīng)用

PRO-SV 平臺非常適合高度受限的應(yīng)用或堆疊多個(gè)定位平臺的情況，包括：

同步加速器和光束線樣品操作

晶圓檢測

表面計(jì)量

激光微加工

精密制造

采用扁平封裝的長行程

與其他類型的垂直運(yùn)動(dòng)平臺不同，PRO-SV 具有直接撞擊移動(dòng)滑架的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。這提供了超長的垂直行程范圍，并保持盡可能短的高度，從而可以自由、清晰地訪問用戶的有效載荷。在設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)時(shí)，最小化工作點(diǎn)高度尤為重要，因?yàn)樗梢源笙薅鹊販p少阿貝偏移，從而有助于提高整體精度。

精確設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)秀性能

通常與升降臺相關(guān)的一個(gè)主要問題是幾何性能不佳（即直線度、俯仰、滾動(dòng)和偏航）。PRO-SV 為這個(gè)問題提供了一種創(chuàng)新的解決方案。在抗蠕變和交叉滾子軸承的引導(dǎo)下，移動(dòng)滑架在各個(gè)方向上得到支撐，使 PRO-SV 成為市場上精確的商用升降舞臺。此外，無槽、無刷扭矩電機(jī)直接連接到大直徑、精密研磨的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以極其平穩(wěn)、無齒輪的運(yùn)動(dòng)定位最重的有效載荷。PRO-SV 沒有皮帶、齒輪和撓性聯(lián)軸器，因此具有很高的可靠性，并消除了上弦和過度反沖的誤差源。

設(shè)計(jì)和集成靈活性

PRO-SV 專為無縫集成到多軸載物臺平臺、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和機(jī)器而設(shè)計(jì)。它直接安裝在 Aerotech 的 PRO-SL 和 PRO-LM 線性平移平臺上，并配有可選的附件桌面，可以將各種 Aerotech 旋轉(zhuǎn)平臺或其他工藝設(shè)備集成到該平臺上。直接耦合的旋轉(zhuǎn)編碼器反饋是標(biāo)準(zhǔn)配置，并且存在幾個(gè)可選的高分辨率線性編碼器，以便在使用雙回路反饋運(yùn)行時(shí)提高精度和高帶寬。當(dāng)有效載荷管理安全至關(guān)重要時(shí)，PRO-SV 可以配置絕dui線性編碼器和抱閘，以提供額外的保護(hù)，防止意外損壞。

使用 ThermoComp® 減少熱誤差

溫度變化和熱效應(yīng)可能是精密機(jī)器中有害的誤差來源，螺桿傳動(dòng)尤其容易受到影響。為了解決這個(gè)問題，PRO-SV 平臺配備了 Aerotech 的 ThermoComp® 功能，這是一種集成溫度補(bǔ)償解決方案，可在存在熱干擾的情況下提供準(zhǔn)確可靠的定位性能。它可以保護(hù)載物臺免受變溫環(huán)境和摩擦引起的自熱的影響，最終為用戶的工藝提供穩(wěn)定性，即使在惡劣的工業(yè)環(huán)境中也是如此。